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第23章 极紫外光源设备

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半个月后。

林浩来到6号厂房。

这里已经被改造成无尘室。

原先的碳纳米球碳晶的生产设备,已经被挪移到1号厂房,那边的紫晶矿石也被孙东来给卖掉了,共计收获13.8亿进到公司账户,这让洛书芸再次找林浩,让他抓紧把钱花掉。

目前这里正在生产光学元件。

林浩进到里面。

吴桐正在操作电脑,他看到老板进来,就连忙笑着招呼道:

“林总,你过来啦。”

“嗯,徐晴呢?”

“徐经理在里面呢,进去都有半天了。”,自从徐晴升职后,吴桐就改口叫徐经理的。

“嗯,我进去瞧瞧。”

林浩说着就走到旁边,穿过闸机,来到里面,他进入无尘室之前,还需要系列复杂操作,换上工作鞋、洗手消毒、穿上洁净工作服,佩戴口罩和手套,风淋室处理,然后才能进入无尘室。

本来万平米的大厂房,已经被重新装修过,还被隔离成多个区域。

林浩悄悄来到徐晴旁边。

并未说话。

而是在默默地关注。

可能是感受到身侧有人,徐晴转过身,发现是老板,就微笑着点头示意。

林浩看了十多分钟,都是徐晴在操作,随后他就默默地退出无尘室,来到闸机外头,笑着和吴桐说道:

“等下徐晴出来,你就让她到办公室找我吧。”

“好的,林总。”

吴桐笑着回应并点点头。

林浩回到办公室。

没过多久,徐晴就来了,估计是猜到老板找她的。

“林总,你找我呀。”

徐晴的心情不错,笑咪咪的。

林浩看着还穿短袖白大褂的徐晴,精致的娃娃脸上透着喜色,就笑着说道:

“坐吧,咱们聊会。”

“好的。”,徐晴说着就坐到林浩的对面,并注视着林浩。

“怎么样?实验有成功吗?”

林浩满脸的期待之色。

徐晴先是点点头,随后就笑着说道:

“林总,你刚才去的时候,我已经成功弄好两个,测试结果符合要求,只是设备的制造成功率太低,共计组装三十多套设备,就只有两套是成功的,其余的都失败了。”

“知道是什么原因吗?”

林浩听到有两套设备成功,立马就放下心来,至于成功率低下,问题不大的,至少说明他的思路是没有问题的。

徐晴稍微思考。

然后正色道:

“林总,共有三个步骤。”

“首先使用高功率二氧化碳激光器,照射金属锡滴,第一个激光脉冲用于预处理,将锡球压扁形成一个扁平的圆盘,以便更好地吸收后续的激光能量,第二个激光脉冲则是主脉冲,用于激发等离子体产生。”

“当锡滴被激光轰击后,迅速汽化并形成高温等离子体,在这过程中,锡原子被高度电离,形成锡离子(+8到+14价态),并产生共振跃迁,释放出波长为13.5纳米的极紫外光。”

“由于极紫外光的波长非常短,咱们使用特殊的镜子,这些镜子是由金属钼和硅交替排列的多层结构制成,每层的厚度仅为几纳米,以确保极紫外光能够被有效反射。”

“然后就得到了极紫外光。”

“我共计做了三十三套设备。”

“虽然目前还不能确定失败的最终原因,但是也能预估个大概,可能是镜片问题造成的。”

“这些镜片是多层结构,每层仅仅几纳米,我估计可能是研磨平整度不够,导致光源在反射过程中有偏差,这样筛选出来的波长,就不能控制在有效范围内。”

“目前只有两套成功。”

林浩听完就笑着点点头。

他不知道国外是怎么做这种极紫外光源的,成功率又是多少,每套光刻机只要1个这种设备,现在他都造两个了,这还有什么好担心的呢?

于是就笑着说道:

“徐晴,你做的很好,再继续多做几个,这块咱们就结束掉,进入下个环节。”

“林总,这个失败率太高,意味着成本极高。”

徐晴想找原因,这是科研人员的通病,什么事情都想尽善尽美。

林浩微笑起来。

他又不指望卖光刻机。

成不高就高些,有什么好担心的呢?不过看到徐晴的样子,还是问道:

“咱们现在单套成本是多少?”

徐晴在沉寂思考中。

然后抬头说道:

“每套大概要1600多万吧,主要是咱们的成功率太低了,连10%都没达到啊。”

“额......”

林浩皱起眉头,只是个极紫外光源而已,在整个光刻机的设备中,真的只是极小部分,不过这是核心部件,唉,成本高就高吧,随即他就笑着说道:

“我多给你几天时间,再制造4套这种光源设备出来,咱们也不指望卖它,成本高就高吧。”

“好的,林总。”

徐晴笑着应下,稍微停留两秒,她继续补充道:

“林总,如果现在的成本能够接受,咱们的设备都还算齐全,我三天就能完成的。”

“嗯?不,你不要疯狂加班了,女孩子,应该多休息的,你下边不是招聘到几个人的吗?他们能不能做这些?让他们去做,你负责领导他们就好啦。”

林浩说完就笑了起来。

徐晴连忙反击:

“林总,他们都被我安排去研究碳晶圆啦,只有我时间充足,你放心吧,我能做好的。”

“嗯,那你也要多休息的。”

林浩能够感受到真诚,他看着徐晴也不知道该说什么,人家主动加班又没啥错。

“好的。”

徐晴嘴角露出微笑。

林浩听到徐晴说起碳晶圆,随即就笑着问道:

“碳晶圆如何了?”

“还没有任何头绪呢,目前正在疯狂的实验,都是瞎试的,光实验就做了数千组,仍然没找到方向。”

说到碳晶圆,徐晴的情绪瞬间就低落下来,她感觉自己下面的人,就是在瞎折腾。

林浩听着也皱起眉头。

接着就问道:

“目前都尝试了哪些方法?”

“林总,我们目前正在尝试的,是生产各种碳的化合物,希望可以以此实现目标。”,徐晴立即回应。

“哦,那单质碳和碳晶的掺杂物尝试过吗?”,林浩思考之后问道。

“有的,但是并不理想。”

徐晴最初尝试的就是这种方法。

林浩也有些头疼。

按说,全球都在研究碳基,想用碳基取代硅基,他研究不出来,也是理所当然的。

但是总感觉失败的滋味不好受。

他皱起眉头。

随即就坐着静止不动,眼睛不眨,大脑却在高速运转,凭借直觉,林浩认为单质碳和碳晶掺杂物,是可以形成半导体的,如果不能做成半导体,就不能形成p-N结。

几分钟以后。

林浩盯着徐晴问道:

“单质碳和碳晶的掺杂,你是怎么做的?”

“林总,不是把这两种物质,研磨成细小颗粒,然后再熔融成柱状物吗?”

徐晴被问愣住了,她红着脸说出之前的做法。

“研磨成细小颗粒?你能研磨到多细小?”

林浩有些好笑,要知道,芯片的材料可是纳米级别的,研磨怎么能达到要求呢?就算研磨到纳米级,掺杂起来仍然不会均匀的,除非......

徐晴的脸更红了。

半天没说话。

过了好久,她才看着林浩问道:

“林总,那要怎么做?”

林浩继续在思考。

他刚才其实已经有了思路。

接着就稍微酝酿下,然后正色道:

“徐晴,还记得咱们在碳纳米球碳晶制造的过程吗?在生成碳晶前(这时碳晶还是液态),我们需要在这个时候添加纳米级的单质碳,这样做可以做到充分掺杂,而且保证纯度。”

“还要在无尘环境下操作。”

林浩继续补充,给出了他认为最有可能的方法,至于最后能不能成功,仍然是个未知数,这太难了。

徐晴也在思考。

稍后就说道:

“林总,我可以重新做的,只是,现在咱们的碳晶制造设备,已经被挪移到1号厂房了,那边没有无尘环境,而且单质碳的提纯,也需要相关设备,还有你说的纳米级研磨也需要设备的。”

“嗯,设备我来想办法,无尘环境就用6号厂房,这两天我会弄好的,你就按照我说的,要多次尝试,寻找合适的掺杂比例,做出能用的半导体材料,碳晶圆。”

林浩是有伊娃帮助的,制造这些设备并不太困难。

徐晴默默地记下。

能博士毕业的,基本上都能算学霸,至少也是个小学霸,林浩说的掺杂流程,还有让她注意的掺杂比例,这需要不停的多次实验,甚至是大量的实验。

不过这有什么关系呢?

多花时间就行。

......

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